飛納電子顯微鏡簡稱電鏡，經過五十多年的發展已成為現代科學技術中*的重要工具，由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。

   飛納電子顯微鏡技術的應用是建立在光學顯微鏡的基礎之上的，光學顯微鏡的分辨率為0.2μm，透射電子顯微鏡的分辨率為0.2nm，也就是說透射電子顯微鏡在光學顯微鏡的基礎上放大了1000倍。飛納電子顯微鏡利用電子束感生電流EBIC進行成像，可以用來進行集成電路中pn結的定位和損傷研究，利用樣品電流成像，結果可顯示電路中金屬層的開、短路，因此電阻襯度像經常用來檢查金屬布線層、多晶連線層、金屬到硅的測試 圖形和薄膜電阻的導電形式。

   飛納電子顯微鏡利用二次電子電位反差像，反映了樣品表面的電位，從它上面可以看出樣品表面各處電位的高低及分布情況，特別是對于器件的隱開路或隱短路部位的確定尤為方便。飛納電子顯微鏡利用背散射電子衍射信號對樣品物質進行晶體結構(原子在晶體中的排列方式)，晶體取向分布分析，基于晶體結構的相鑒定。

   飛納電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成，鏡筒主要有電子源、電子透鏡、樣品架、熒光屏和探測器等部件，這些部件通常是自上而下地裝配成一個柱體。飛納電子顯微鏡用來聚焦電子，是電子顯微鏡鏡筒中重要的部件。

   光學透鏡的焦點是固定的，而電子透鏡的焦點可以被調節，因此電子顯微鏡不像光學顯微鏡那樣有可以移動的透鏡系統。現代飛納電子顯微鏡大多采用電磁透鏡，由很穩定的直流勵磁電流通過帶極靴的線圈產生的強 磁場使電子聚焦。電子源是一個釋放自由電子的陰極，柵極，一個環狀加速電子的陽極構成的。陰極和陽極之間的電壓差必須非常高，一般在數千伏到3百萬伏特之間。它能發射并形成速度均勻的電子束，所以加速電壓 的穩定度要求不低于萬分之一。

   觀察的是這些每個點散射出來的電子，放在樣品旁的閃爍晶體接收這些次級電子，通過放大后調制顯像管的電子束強度，從而改變顯像管熒光屏上的亮度，圖像為立體形象，反映了標本的表面結構。顯像管的偏轉線圈與樣品表面上的電子束保持同步掃描，這樣顯像管的熒光屏就顯示出樣品表面的形貌圖像，這與工業電視機的工作原理相類似，由于這樣的顯微鏡中電子不必透射樣本，因此其電子加速的電壓不必很高。