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      為什么掃描電鏡(SEM)的束斑直徑那么重要

       發(fā)布時間:2017/12/19 點擊量:3214
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      詳細介紹:

      近年來,隨著科技的發(fā)展和材料尺寸的不斷縮小,掃描電鏡(SEM)已經(jīng)成為一種非常有價值的表征方法。SEM作為一種通用的工具,方便用戶可以對各種各樣的材料進行多種不同類型的分析。為獲得更好的結(jié)果,用戶應(yīng)該仔細設(shè)定SEM參數(shù)。其中一個設(shè)置是束斑直徑,即照射在樣品上的電子束直徑。在這篇博客中,闡述了如何在SEM中調(diào)整束斑直徑,以及如何在高分辨率成像和大束流之間實現(xiàn)平衡,以獲得*結(jié)果。

       

      如何在SEM下調(diào)整束斑直徑

       

      描述SEM中電子束性質(zhì)的四個主要參數(shù)如圖1所示:

       

      1. 使電子在電鏡腔室中運動的加速電壓
      2. 電子束的會聚角
      3. 轟擊樣品的電子束流大小
      4. 到達樣品表面的zui終束斑直徑。

       

      圖1:SEM中電子束的四個主要參數(shù):加速電壓、會聚角、電子束流和束斑直徑

       

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